小栢给大家谈谈电镜mapping做什么的,以及电镜mapping是什么意思应用的知识点,希望对你所遇到的问题有所帮助。
1、EDS能谱仪,是一种分析物质元素的仪器,常与扫描电镜或者透射电镜联用,在真空室下用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征x射线。
2、根据特征x射线的波长,定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素,EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析,以及特定区域之point、line主要用于元素的定性分析;能谱仪能够分析原子序数大于5的元素,波谱仪可以分析原子序数从4~92之间的所有元素;EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析;点分析得到一点的所有元素;线分析每次对指定的一条线做一种元素分析,多次扫描得到所有元素的线分布;面分析对一个指定面内的所有元素分析,测得元素含量是测量面范围的平均值;EDS做微区分析时所激发的体积为10um3 左右;EDS常常与SEM结合使用,可对目标部位进行点、线、面形貌扫描和成分分析;检测极限:0.1%,只能做半定量分析,精度一般在1%到5%,深度一般为1~5微米。
本文到这结束,希望上面文章对大家有所帮助。